仪器用途
该设备主要应用于IC、PCB行业、电池行业、半导体零部件生产、电子产品加工、实装基板、电子产品封装、电源等行业产品内部缺陷的观测
仪器特点
1 整套装置采用CNC运动系统,操作简单,性能稳定;
2 配备导航微型摄像头,可对指定位置进行检测,实现观察的可视化动态显示;
3 选择微焦斑电源光管一体式的X射线源,并采用多种图像处理技术和功能软件,使图像清晰,灰度层次分明,便于测量和观察;
4 可以对图像进行点线距离测量、点与点距离测量、CNC测量等;
5 测量结果可根据设定参数进行判定;
6 该机具有高可靠性X射线防护措施及控制系统,提供安全可靠的操作环境,X射线辐射泄漏率不超过1 μSv/h。
规格参数:
最大管电压 |
90kV |
最大管电流 |
0.2mA |
焦点尺寸 |
5um |
分辨率 |
20lp/mm |
最大视窗 |
Φ25mm |
放大倍率 |
20-1000倍 |
功率 |
0.5KW |
最大检测样品尺寸 |
600*500mm |
成像系统 |
平板探测器 |
机身尺寸 |
H1650 mm *W1450 mm *L1550mm |
重量 |
900kg |
电源 |
AC220V 50/60Hz |
辐射剂量 |
<1μSv/h |